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等离子蚀刻机
报价：面议
| 品牌： | 北京杰能达 |
| 产地： | 北京 |
| 关注度： | 13 |
| 型号： | 等离子蚀刻机 |
产品介绍
用于快速均匀硅蚀刻
利用定向的氟自由基束中短寿命且高活跃度的F-自由基
腐蚀率：200mm晶圆腐蚀率为3μm/min, 300mm晶圆腐蚀率为2.5μm/min
腐蚀率受胶带材质限制，无胶带情况下可达5μm/min
TTV(总厚度变化)：300mm晶圆，硅的厚度从10μm减少至1μm
通过同步旋转和氟的方位角位移来调节氟自由基束的均匀性
可选脉冲等离子模式和直流等离子模式
采用基于CF4的化学蚀刻用于含铜等金属的硅刻蚀
具有可调真空区域的真空吸盘可处理100/150/200/300mm尺寸的晶圆
真空吸盘可控制温度
刻蚀超薄晶圆可以使用锯架
问商家
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供应产品
北京杰能达机电设备有限公司为您提供北京杰能达等离子蚀刻机，等离子蚀刻机产地为北京，属于制样/消解设备，除了等离子蚀刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供微波电源（开关模式）MX3000D-176KL、15KW微波发生器、915MHZ 30KW微波发生器。
工商信息
企业名称
北京杰能达机电设备有限公司
企业类型
信用代码
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
