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W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
报价:面议
品牌: 铂世光
产地: 上海
关注度: 89
型号: W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
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产品介绍




系统特点:
·采用方位换向对称方式微波耦合,来提高微波的均匀性
·稳定沉积面积20cm2
·**功率达到6KW
·使用纯净的石英窗
·采用不锈钢反应腔,能耐高温
·高压力控制,产生高密度单模式等离子体
·使用高精度气体质量流量计,高可靠性稳定的压力控制系统
·稳定的微波输入




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应用:
·宝石
·复合热沉片
·精密加工刀具刀头
·红外光学窗口
·量子传感器/NV色心量子器件
·功率电子器件
·高增益激光器
·高纯电化学电极
·纳米金刚石材料
·第四代半导体材料


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工商信息
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铂世光(上海)技术有限公司

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