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W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系统
报价:面议
品牌: | 铂世光 |
产地: | 上海 |
关注度: | 92 |
型号: | W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系统 |
产品介绍
系统特点: |
·采用方位换向对称方式微波耦合,来提高微波的均匀性 |
·稳定沉积面积44cm2/80cm2 |
·**功率达到8KW/10KW |
·使用纯净的石英窗 |
·采用特殊铝合金反应腔,能耐高温(碟形) |
·高压力控制,产生高密度多模式等离子体(碟形) |
·使用高精度气体质量流量计,高可靠性稳定的压力控制系统 |
·稳定的微波输入 |
设备的优势: |
·反应可控,能长时间稳定工作在8KW/10KW |
·所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染 |
·参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地 |
·采用高效散热的样品台,**散热能力可达20KW以上 |
·高效率微波利用率,氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可达75%以上 |
·高可靠性,高实验重复性,高设备耐久性 |
·简捷的人机交互界面 |
应用: |
·宝石 |
·复合热沉片 |
·精密加工刀具刀头 |
·红外光学窗口 |
·半导体wafer |
·生物电极 |
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工商信息
企业名称
铂世光(上海)技术有限公司
企业类型
信用代码
91310000MA1JNUTF04
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围