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W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统
报价:面议
品牌: | 铂世光 |
产地: | 上海 |
关注度: | 100 |
型号: | W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统 |
产品介绍
系统参数:
型号 | W-180系列 | |
供电电源 | AC380±10% 三相五线制 50Hz/60Hz | |
系统总功率 | 14KW | |
微波输出功率 | 2-10KW | |
微波工作频率 | 2.45GHz | |
反应腔 | 不锈钢谐振腔 | |
整机真空气密性 | ≤1.33×10-10 Pa·m3/s (≤1×10-9 Torr L/s) | |
沉积台类型 | 水冷式沉积台 | |
有效沉积面积 | **沉积面积Ф≥3英吋(76mm) | |
工作压力范围 | 1-32Kpa (10Torr-220Torr) | |
自动压力控制精度 | ±15 Pa (≈0.12 Torr) | |
真空泵抽速 | 旋转真空油泵(30m3/h) | |
标准气路 | 五路MFC气路(可选配) | |
微波泄漏功率密度 | ≤1mw/cm2 | |
控制系统 | PDS-MPCVD控制系统 | |
观察窗 | ICF70 4个,ICF34 4个 | |
运行工作环境 | 恒温20℃-24℃ | |
冷却水流量 | <41 L/min流量可调 | |
系统重量 | 500±5KG |
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工商信息
企业名称
铂世光(上海)技术有限公司
企业类型
信用代码
91310000MA1JNUTF04
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围