1 年
高级会员
已认证
W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统
报价：面议
| 品牌： | 铂世光 |
| 产地： | 上海 |
| 关注度： | 100 |
| 型号： | W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统 |
产品介绍
系统参数：
型号 | W-180系列 | |
供电电源 | AC380±10% 三相五线制 50Hz/60Hz | |
系统总功率 | 14KW | |
微波输出功率 | 2－10KW | |
微波工作频率 | 2.45GHz | |
反应腔 | 不锈钢谐振腔 | |
整机真空气密性 | ≤1.33×10-10 Pa·m3/s (≤1×10-9 Torr L/s） | |
沉积台类型 | 水冷式沉积台 | |
有效沉积面积 | **沉积面积Ф≥3英吋（76mm） | |
工作压力范围 | 1－32Kpa （10Torr－220Torr） | |
自动压力控制精度 | ±15 Pa (≈0.12 Torr) | |
真空泵抽速 | 旋转真空油泵（30m3/h） | |
标准气路 | 五路MFC气路（可选配） | |
微波泄漏功率密度 | ≤1mw/cm2 | |
控制系统 | PDS-MPCVD控制系统 | |
观察窗 | ICF70 4个，ICF34 4个 | |
运行工作环境 | 恒温20℃-24℃ | |
冷却水流量 | ＜41 L/min流量可调 | |
系统重量 | 500±5KG |
问商家
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的工作原理介绍？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的使用方法？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统多少钱一台？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统使用的注意事项
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的说明书有吗？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的操作规程有吗？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的报价含票含运费吗？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统有现货吗？
- W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统包安装吗？
推荐产品
供应产品
铂世光（上海）技术有限公司为您提供铂世光W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统，W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统产地为上海，属于半导体行业专用仪器，除了W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系统、W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统。
工商信息
企业名称
铂世光（上海）技术有限公司
企业类型
信用代码
91310000MA1JNUTF04
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
