全自动晶圆刷洗机

TSC-150C/200C/200L

该系列设备是晶圆抛光后的专用清洗设备，集成全自动上下料系统、双面PVA刷洗、兆声清洗、甩干&N2吹干等单元，集成度高，湿/干进干出，适用于各种半导体晶圆抛光后的清洗。

TSC-150CTSC-200CTSC-200L

清洗工位皮带传送式6工位

晶圆尺寸3-6英寸

刷洗工位*22个PVA刷，双面刷洗

Features

产品特点

清洗工艺

预清洗/双面刷洗/漂洗/兆声/吹干/甩干

刷子类型

PVA 刷 双面刷洗

PLC控制系统

触摸屏操作

全自动系统

皮带传动 Cassette in/out 干进干出