单面抛光机

TAP-400/450/500/600 series

该系列抛光机是双轴高精密单面抛光设备，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动功能，适用于各种半导体材料的抛光。

TAP-400TAP-450TAP-500TAP-600

抛光盘规格OD400 mm

抛光头数量2个

抛光头摆动摆幅摆速可调