该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备，配置抛光盘冷却和温度监控系统，保证抛光过程恒温，设备操作简单、配置丰富，可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等（可选配车刀系统），配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。

TSP-400TSP-450

抛光盘规格OD400 mm

抛光头数量2个

抛光头加压方式砝码或真空抛光压头

抛光头摆动功能具备