单面抛光机

TSP-610/810/910/1270/1500 series

该系列抛光机是以陶瓷盘为载具，通过贴蜡或无蜡吸附方式固定晶圆进行抛光的高精密单面抛光设备，可实现双轴、四轴同时加工，操作简便，兼容性强，稳定性高，抗腐蚀好，抛光头气缸加压主动旋转，可实现高转速高压力抛光，搭配不同抛光垫和抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。