半自动单轴减薄机适用于2-12英寸晶圆及特殊规格材料的研削,采用手动装片方式,操作简单、功能丰富,配置自动测厚和补偿系统提升设备研削精度。工作台可根据客户需求定制,性能优异,应用广泛。
Features
产品特点
操作灵活
人工取放片 干进湿出
功能全面
自动厚度测量 多段研削程序 超负载等待
兼容性好
可磨削各类半导体材料 适应2-12英寸晶圆减薄