核心技术：

**磁浮Carrier导轨结合特殊导流气体设计，降低微粒发生；

自主溅镀线体设计，掌控in-line 腔体设计核心

可调式进出片时序控制与防撞片监控系统，可配合不同使用规格需求客制化产能、膜厚搭配性。

先进性：

降温腔体设计，解除翘曲顾虑；

阴极靶材冷却设计，保证大功率长时间操作稳定性佳。