核心技术：

超高膜厚匀性控制工艺与设备技术；

超低温成膜工艺与对应之设备技术；

**射频等离子体清洁工艺；

简介： 九大**： 客制化精密零件、自主研发、**远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理、6秒不断电UPS系统、关键数据趋势图  先进性： 干泵结构的优化设计以降低能耗； 零件采用特殊涂层，增加抗腐蚀能力； 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式 

核心技术：

超高膜厚匀性控制工艺与设备技术；

超低温成膜工艺与对应之设备技术；

**射频等离子体清洁工艺；

先进性：

自有IP特殊Pre-treatment电极设计；

保证立体结构的完整包覆是借由设计TS Distance的优化，**的shielding box设计以及工艺参数的优化来达成；

独特的cathode设计特点

简介： 九大**： 客制化精密零件、自主研发、**远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理、6秒不断电UPS系统、关键数据趋势图  先进性： 干泵结构的优化设计以降低能耗； 零件采用特殊涂层，增加抗腐蚀能力； 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式