关键应用：

栅极预清洗

RCA清洗

光阻去除

氧化硅腐蚀

氮化硅腐蚀

CoSix选择性腐蚀

产品优势：

1、占地面积小，将外部unit 集成在设备内部来减小整体的占地面积；

2、高产能，优化的Marangoni Dryer；

3、重新设计槽体流场，较好的清洗效果和均一性;

4、有机清洗，控片回收；

5、机台将back conveyor集成在机台的后上方，节省了空间 ；

6、机台采用PLC和PC的结合控制方式， 系统可靠高；

7、优化机台内部流场设计，带来更好的articleperformance

8、破片侦测系统，防止二次伤害；