青岛佳鼎半导体
  • 佳鼎半导体
    参考报价:电议
    型号:超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
    产地:山东
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  • 详细介绍:


    现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

    "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪,可以获得高稳定的束流。

    通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

    此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍。

    Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的**性能。

    设备特点

    沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪

    采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的**性能

    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

    采用污染小、高真空样品仓

    运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度

    设备规格


    项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
    二次电子分辨率0.7 nm
    (加速电压15 kV)
    0.8 nm
    (着陆电压1 kV)*3
    0.6 nm(加速电压 15 kV)
    0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3

    着陆电压0.1~2 kV0.01~20 kV
    放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
    样品台样品台控制3轴马达台(可选5轴马达台)5轴马达驱动
    移动范围X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
    Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
    R360°
    T-5~70°
    Z1.5~30 mm1.5~40 mm
    再现性---±0.5 µm以下含±0.5 µm