TOPCON拓普康芯片外观检测设备Vi4202可以全自动检查在晶片上图案化的芯片和在扩展前切割的晶片（表面朝上/背面朝上）中的微小异物和缺陷，并以芯片为单位确定合格与否。

环境条件：

温度范围：20~27℃；

湿度范围：50%±20%以内；

环境洁净度：1000级；

安装底板每个轴振幅：＜64μm；