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8英寸快速退火炉RTP
报价:面议
品牌: | 量伙半导体 |
产地: | 上海 |
关注度: | 82 |
型号: | 8英寸快速退火炉RTP |
核心参数
非金属电热元件:其他
金属电热元件:其他
烧结气氛:其他
产品介绍
设备主要工艺应用(Application)
·快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);·离子注入/接触退火;
●高温退火;
●高温扩散;
·金属合金;
热氧化处理,
设备主要应用领域(Field):
●化合物半导体(磷化铟、砷化镓、氮化物、碳化硅等);
●多晶硅;
·太阳能电池片,
●MEMS等传感器;
●二极管、MOSFET及IGBT等功率器件:
OLED、CMOS等光电器件;
●IC晶圆。
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工商信息
企业名称
量伙半导体设备(上海)有限公司
企业类型
信用代码
91310115MA1HADK280
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围