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6英寸快速退火炉RTP
报价:面议
品牌: | 量伙半导体 |
产地: | 上海 |
关注度: | 66 |
型号: | 6英寸快速退火炉RTP |
核心参数
非金属电热元件:其他
金属电热元件:其他
烧结气氛:其他
产品介绍
6英寸快速退火炉RTP
LH-RTA-E特点:E系列半自动快速退火炉,软件控制取放片,适用于**6英寸(150mm*150mm)及以下尺寸硅片、第二代、第三代化合物材料等(包括但不限于,磷化铟,砷化镓,碳化硅,氮化镓等各类衬底和外延片),拥有出色的热源和结构设计。
设备主要规格(Features):
1.**6英寸 Wafer(单腔体**满足150mm*150mm材料进行加热处理);2.冷却方式包括水冷和氮气吹扫(循环常温水冷却,软件可视化监控管理,防止外壁过热,内置氮气管路,吹扫腔体,保持清洁,极速降温);
3.MFC控制,1-5路制程气体。(品牌MFC控制器,内置多路气氛管路,可定制开通,满足各类测试工艺需求);4.退火温度范围 300℃-1000℃(常规硅基材料温度适用于850℃,第三代半导体材料**可到1350℃)5.升温速率 ≤150℃/秒(升温速度随不同的材料及装置会有差异,标准数据是裸片放置内测量后得出,150摄氏度每秒是常规温度速率,加热设备的极限会更高);
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工商信息
企业名称
量伙半导体设备(上海)有限公司
企业类型
信用代码
91310115MA1HADK280
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围