有效行程

X轴:300mm    Y轴:300mm

**速度

X轴:1000mm/s    Y轴:1000mm/s

**加速度 

X轴:0.6G    Y轴:0.6G

重复定位精度

X轴:±0.5μm  Y轴:±1μm   θ轴：±2arcsec

直线度

X轴:±4μm   Y轴:±4μm

行走平面度

X轴:±5μm   Y轴:±4μm

XY正交度 

±5μm 

**负载

10kg

光栅尺分辨率

0.1μm