重复定位精度±100nm
直线度、行走平面度±1um
高动态响应特性
低静态抖动
快速整定
支持非标定制
行程
300mm
分辨率
20nm
**定位精度
±300nm
重复定位精度
±100nm
速度
1m/s
加速度
1G
位置稳定性
±20nm
行走平面度
±1um
直线度
Pitch
±2arcsec
Yaw
Roll
