西安德盟特半导体科技有限公司
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德盟特
DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备
参考报价:电议
型号:DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备
产地:陕西
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详细介绍:
常规配置及参数
电源输入
:
三相 380V (±10%), 15KVA
微波电源功率
:
6KW(2.45GHz)
样品台
:
2英寸可升降水冷台
腔体生长压力
:
10-200Torr
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