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设备DH6A—MPCVD
报价:面议
品牌: 德盟特
产地: 陕西
关注度: 413
型号: 半导体级MPCVD设备
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产品介绍
常规配置及参数
电源输入:三相 380V (±10%), 15KVA
微波电源功率:6KW(2.45GHz)
样品台:8英寸水冷铜台
腔体生长压力:10-200Torr
气体管路:标配4路(H2、O2、CH4、N2)
反应腔体:卧式蝶形上翻盖金属水冷腔体
(带4个观察窗)
主机柜尺寸:900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H)
(约320Kg)
控制柜尺寸:570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H)
(约240Kg)


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西安德盟特半导体科技有限公司

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91610131MA6TXP3T9U

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