TFC-6500B化学气相沉积(MPCVD)设备
报价:面议
品牌: 碳方程
产地: 山西
关注度: 23
型号: TFC-6500B
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产品介绍

TFC-6500B,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备是***的 CVD 系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强微 波等离子体(MPCVD)综合设备。

产品特性

* 高纯高真空不锈钢腔体(无硅污染 )

★ 可95%功率高效稳定运行

★可单次生产7*7 mm单晶毛坯21粒

★ 水冷却腔体(无风冷噪音)

★ 可均匀生产2 inc多晶

★ 产品净度等级可达VVS级

*生长机台可自动调节范围达15MM


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工商信息
企业名称

碳方程半导体设备制造(山西)有限公司

企业类型

信用代码

91140106MA0M30820N

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