TFC-6500B，微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备是***的 CVD 系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强微 波等离子体（MPCVD）综合设备。

产品特性

* 高纯高真空不锈钢腔体(无硅污染 )

★ 可95%功率高效稳定运行

★可单次生产7*7 mm单晶毛坯21粒

★ 水冷却腔体(无风冷噪音)

★ 可均匀生产2 inc多晶

★ 产品净度等级可达VVS级

*生长机台可自动调节范围达15MM