成都华宇微波技术有限公司
  • 成都华宇
    参考报价:电议
    型号:电子回旋共振等离子体(ECR)系统
    产地:四川
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  • 详细介绍:


    性能特点:

    ֍具有无热阴极、电离度高的特点

    ֍具有可忽略放电室壁的散射的特性

    ֍能在低真空度下工作

    ֍设备性能稳定,使用寿命长


    主要技术参数:

    微波源输出功率

    260W - 1500W
    极限真空度≤5×10-5Pa·m3/s
    气体质量流量控制多路
    工作气压1Pa - 200Pa
    磁场强度0 - 1000高斯可调
    偏压0V - 300V