成都华宇微波技术有限公司
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成都华宇
电子回旋共振等离子体(ECR)系统
参考报价:电议
型号:电子回旋共振等离子体(ECR)系统
产地:四川
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详细介绍:
性能特点:
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具有无热阴极、电离度高的特点
֍
具有可忽略放电室壁的散射的特性
֍
能在低真空度下工作
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设备性能稳定,使用寿命长
主要技术参数:
微波源输出功率
260W - 1500W
极限真空度
≤5×10
-5
Pa·m
3
/s
气体质量流量控制
多路
工作气压
1Pa - 200Pa
磁场强度
0 - 1000
高斯可调
偏压
0V - 300V
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