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微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— C型
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品牌: 成都华宇
产地: 四川
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型号: 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— C型
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产品介绍

微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 

—— C

    一款先进的微波等离子体化学气相沉积装置。微波输入采用下馈的方式,为腔体结构的优化提供了可能性。

该装置可以再相对大面积的衬底上进行金刚石单晶和多晶生长。


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