֍采用特殊材质反应腔，能耐高温

֍高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长

֍使用高精度气体流量计，高稳定性

֍采用纯净的石英窗

֍设备安全性高、可靠性强、重现性好

֍方便工艺人员沉积工艺的研发和优化