֍**功率达到6kW

֍微波反应腔新型设计，功率密度大

֍产品沉积速率快、沉积质量高

֍采用水冷全金属腔体

֍采用高效散热的样品台

֍设备安全性高、耐用性高、可靠性强

֍多参数实时监测，PLC屏幕控制，简捷的人机交互界面