本产品有三种规格的过滤精度

5-10u、10-20u、20-30u。

气体流通量

压降为0.05MPa时，过滤精度为20-30u时，**流通量为62.5升/MIN，其余高精度过滤器流量将会减小。

**工作压力

1MPa

漏气率

单点<1×10-8sccs He。

工作环境温度

0-65℃。

各金属零件材料

00Cr17Ni14Mo2（316L）。

出入口接头

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、Φ8、3/8″、Φ10、1/2″标准双卡套接头