流通量

50SLM (小通道)
150/300 SLM (大通道)

工作压差范围

50SLM 0.05～0.50 MPa (小通道)
150/300SLM 0.25～0.50 MPa (大通道)

耐压

1 MPa (小通道)
3 MPa (大通道)

工作环境温度

5℃～45℃

漏气率

单点＜1×10-8 atm·cc/sec He

工作电源

0～24V DC ≤5W

出入口接头

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、Φ12、1/2″标准双卡套接头，VCR 1/4″阴接头、VCR 1/4″阳接头和VCR 1/2″阳接头。

金属材料

316L