· 使用简单。只要您打开气体质量流量计，气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

· 连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。

  · 准确。流量测量具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/50th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

性能

· 可用量程：0-5000 slpm；*小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）

· 可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）

· 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

· 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

· 可重复性：0.2%满量程

· 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

· 无需预热时间