量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM

测量范围： 1% – 100% F.S.

精度：读数的 0.8% 和 0.2% F.S.

可选高精度：读数的 0.4% 和 0.2% F.S.

重复性：±0.2% F.S.

响应时间：<10 毫秒

工作温度：–10°C 至 +60°C

工作压力：160 PSIA (11 barA)