性能

• 可用量程：**0-1000 slpm；*小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）

• 可调比：200:1

• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

• 可重复性：0.2%满量程

• 标准控制器响应时间常数：5-10ms

• 无需预热时间

• 
  

工作条件

• 兼容气体：98种预置可选气体校准；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

• 工作温度：-10°C至+60°C

• **内部压力（静态）：45 psig（60 psia）

• **差压（进口至出口）：15 psid

• 耐受压力：175 psig（190 psia）

• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）