*小流量：20 SCCM     **流量：500 SLPM

E100气体层流质量流量计与在原有的M100系列做了产品的升级，通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及**核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时，内置多种气体和混气设置，数字式和模拟式的通讯方式，实现流量的精确测量。

*小流量：20 SCCM     **流量：500 SLPM

E100气体层流质量流量计与在原有的M100系列做了产品的升级，通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及**核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时，内置多种气体和混气设置，数字式和模拟式的通讯方式，实现流量的精确测量。