快速响应、精确测量气体流量
*小流量:0.1SCCM **流量:5000SLPM
S100-QR快速响应气体层流质量流量计在S100基础上提高快速响应时间,从100ms缩短至20ms,大幅提高流量测量效率,节省工艺成本,精度保持在±1%读数,适用气体快速波动下的流量精确测量。