技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考背面

                   一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可测比    0.01%～100%满量程

**显示流量    128%满量程

显  示  屏    带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ± （0.8%读数 + 0.2%满量程） 精度升级部分见左下角

                  ± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外额外增加±0.5%读数误差

重  复  性    ±（0.2%读数+0.02%满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移    0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点和满量程漂移    ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm

                 （从校准压力开始）

响应时间    127 ms（可调）                  

预热时间    < 1 s

默认标况（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

**工作压力    0.3 MPa表压，进出口**允许瞬时压差70 Kpa

*低操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用； 

                          其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.75%读数（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输出信号    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    9-24 VDC（如选4-20 mA或0-10VDC输出，须为12-24VDC）

供电电流    40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC）

电气接口    DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He 

材       质    302、303不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、

                  玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、金

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求                      

防护等级    IP40

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选）