精度升级

量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度      ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取**值）

质量流量高精度         ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取**值）

重复性                       ±（0.1%   读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移      ± 0.03% 满量程 / ℃温差

                                  ± 0.01% 满量程 / Atm压力差