ALICAT 气体质量流量计-便携式 62/62A系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，优于1%的精度，测量范围广，优于10ms响应时间

产品特色

● 续航时间达 18小时

● 数字化产品

● 主体材质可选铝，更优越的导热性能和便携性

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 可选高精度：可优于0.5%读数

● 可测范围广，0.01~100%满量程

● 响应时间快，优于10ms

● 内置98种气体

● 可现场标定混合气体（*多5种成分），并存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度    ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取**值）

质量流量高精度       ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取**值）

重复性                      ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移    ± 0.01%读 数/ ℃温差

                                ± 0.1 %读 数/ Atm压力差