9NS-OM系列高性能氧气纯化系统由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由一组高温催化剂纯化单元和多组并联的常温吸附剂气体纯化单元串联，以及一系列气动阀门、气体管路和散热器所组成。纯化系统采用高温催化和常温吸附相结合的方法将工艺气体中的H20,CO,CO2,CH4,NMHC,H2等杂质去除到1ppb以下，可配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。