产品特点

流量范围30-6000Nm3/h

出口气体中各杂质含量小于1ppb

可以从惰性气体中去除甲烷

可配置0.003微米过滤器

316L SS EP纯化罐

组高温催化单元，多组常温吸附单元，前级无需再生，后级原位再生

全程自动运行，连续供气