该设备可4-8寸兼容生产，适用于不同厚度的各种外延片,

激光切割技术成为LDE行业发展趋势;设备采用1064nm波长 激光器，

除可以加工普通厚度晶圆片外,优势在于加工厚度不 超过250um的厚片，

提高加工效率并且保证了切割质量。