材质
• 母体: 详见订购参数
• 膜片: Elgiloy®
• 密封垫: PCTFE
• 手柄: AL
• 内部泄漏率: 1x10^-9 mbar I/s He
• 外部泄漏率: 1x10^-9 mbar I/s He
• 孔径: Ф4.4mm
• 重量: 约 0.27kg (不含驱动器)