产品特点

• 超高纯度气体终端适用于所有气体输送系统

  100TG:≤30 slpm （1/4 " VFS）

  200TG:≤300 slpm （3/8”VFS）

  300TG:≤600slpm （1/2 " VFS）

• 控制精度高

• 所有连接端口使用焊接或VFS接头

• 手动或气动隔膜阀选择

• 100%氦泄漏测试

技术参数

• 进气压力P1: 300 psig

• 出气压力P2: 30/60/100/150 psig

隔膜阀材质

• 母体: 316L

• 阀座: PCTFE

• 膜片: Elgiloy®

监管机构材质

• 母体: 316L / 316L secondary remelt

• 阀座: PCTFE

• 膜片: Hastelloy® C276

• 泄漏率: (外部) 1x10^-9 mbar I/s He

              (内部) 1x10^-8 mbar I/s He