1 年
高级会员
已认证
HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统
报价:面议
品牌: | 沃特塞恩 |
产地: | 四川 |
关注度: | 172 |
型号: | HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统 |
产品介绍
技术参数
(1) | 型号 | HMPS-2080SP |
(2) | 电源 | AC380±10% V 三相五线制 50Hz,额定输入<18KVA |
(3) | 微波输出功率 | 0.1~8kW 连续可调 |
(4) | 功率稳定度 | 1%(@稳态) |
(5) | 纹波 | ≤1% |
(6) | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 测温方式 | 红外300~1400℃ |
(8) | 极限真空度 | ≤3.7×10-3Torr |
(9) | 工作压力 | 5torr~225torr |
(10) | 放电区 | Φ≥70mm |
(11) | 均匀沉积区 | ≥68mm |
(12) | 工作气体 | H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可扩展为5路 |
(13) | 氦质谱真空漏率 | ≤1.0×10-9Pa·m3/s; |
(14) | 工作环境 | 温度15-40℃,相对湿度≤60%,无腐蚀性气体 |
问商家
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的工作原理介绍?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的使用方法?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统多少钱一台?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统使用的注意事项
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的说明书有吗?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的操作规程有吗?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的报价含票含运费吗?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统有现货吗?
- HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统包安装吗?
推荐产品
供应产品
成都沃特塞恩电子技术有限公司为您提供沃特塞恩HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统,HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统产地为四川,属于半导体行业专用仪器,除了HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供DM-8000微波等离子体CVD设备、WSPS-2450-10k-CEWG分体式固态微波功率源、WSPS-915-5k固态微波源。
工商信息
企业名称
成都沃特塞恩电子技术有限公司
企业类型
信用代码
91510100327517669B
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围