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HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统
报价:面议
品牌: 沃特塞恩
产地: 四川
关注度: 502
型号: HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统
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产品介绍

技术参数

(1)型号HMPS-2080SP
(2)电源AC380±10% V 三相五线制 50Hz,额定输入<18KVA
(3)微波输出功率0.1~8kW 连续可调
(4)功率稳定度 1%(@稳态)
(5)纹波≤1%
(6)微波频率  2450MHz±50MHz
(7)测温方式    红外300~1400℃
(8)极限真空度≤3.7×10-3Torr
(9)工作压力  5torr~225torr
(10)放电区Φ≥70mm
(11)均匀沉积区≥68mm
(12)工作气体

H2 /CH4  /N2  /O2 或CO2 或Ar ,可扩展为5路

(13)氦质谱真空漏率≤1.0×10-9Pa·m3/s;
(14)工作环境温度15-40℃,相对湿度≤60%,无腐蚀性气体


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工商信息
企业名称

成都沃特塞恩电子技术有限公司

企业类型

信用代码

91510100327517669B

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