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微波等离子体化学气相沉积设备
报价:面议
品牌: 固玺科技
产地: 上海
关注度: 399
型号: MPCVD设备
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产品介绍

“MPCVD”中文全称名叫“微波等离子体化学气相沉积”,MPCVD法的设备是制备高品质金刚石的培育设备。其工作原理是利用微波作为能量来源,在特定的反应气体条件下激发等离子体进行材料外延生长,微波系统将微波源产生的微波能量以特有的模式经矩形波导输出,通过模式转换器耦合进入圆柱形等离子体反应腔,在微波场的作用下,反应气体被激发为等离子体状态,等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,等离子体呈球状形成于金刚石衬底上进行外延生长。

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上海固玺科技有限责任公司为您提供固玺科技微波等离子体化学气相沉积设备,微波等离子体化学气相沉积设备产地为上海,属于半导体行业专用仪器,除了微波等离子体化学气相沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供CVD培育钻石裸钻、CVD单晶金刚石、氢气压缩机。
工商信息
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上海固玺科技有限责任公司

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91310112MA1GE3K72B

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