01参数 

1.激光波长200-1064nm 

2.激光频率：纳秒/皮秒/飞秒 

3.***小线宽10-50μm 4.加工面积大于100*100mm 5.重复精度±5μm 

02结构&功能

结构：主要由大理石直线电机机架、 顶升输送带、激光光路模块、除尘系 统、CCD相机找正、气缸自动门及外 框和气浮系统组成。 

功能：使基片实现输送、找正定位、 夹紧、并进行激光刻蚀配合气浮及除 尘等一整套的动作

03定制服务 

1.视觉系统 

2.光路可微调，间距可变 

3.激光频率、加工面积 

4.其他