生长台尺寸：φ70mm  可同时生长7mm*7mm单晶45粒

10mm*10mm单晶21粒

控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）

微波电源： MUEGGE  6KW 2.45GHz    

真空泵：Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵