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15KW碟型腔4英寸单晶多晶生长直径的MPCVD设备
报价:面议
品牌: | 海光智能 |
产地: | 广东 |
关注度: | 557 |
型号: | 15KW碟型腔4英寸单晶多晶生长直径的MPCVD设备 |
产品介绍
15KW碟型腔4英寸单晶多晶生长直径的MPCVD设备,101颗7*7mm晶种
微波功率调节连续平缓,沉积温度可以连续稳定变化。
沉积反应室的结构调整,沉积腔中产生大面积又稳定的等离子体球可以大面积均匀沉积。
适应不同尺寸和形状的衬底,较高的灵活性,通过调整工艺参数,如高硬度、高热导率、高透光性等。
通过升级或扩展来实现更大规模的生产,提高了设备的利用率和****率。
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工商信息
企业名称
佛山市海光智能科技有限公司
企业类型
信用代码
91440606MABXRLLJ0W
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围