近日，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司公布了三氯化铝、四氯化铪升华结晶纯化技术成果。

成果简介：三氯化铝、四氯化铪等金属粉体类前驱体在生产过程中会产生众多其他金属氯化物杂质，故存在固体杂质难以分离的问题。针对这一难题开展了真空升华、低温凝华、流道控制等方面的研究，攻克超高纯重结晶技术，完成三氯化铝、四氯化铪小试研发，纯度达到6N，技术成熟度达到7级，技术水平国内领先。 

本项科技成果完全由公司进行自主创新研发。升华结晶技术创新体现在升华温度压力控制技术、系统水含量控制技术以及分析取样技术这三大方向。

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