在半导体制造中因其高纯度、高温稳定性和耐化学腐蚀性能而被广泛应用。配合内管用于化学气相沉积（CVD）及其增强版（PECVD），以供进气及测温。在这些过程中，石英外管提供了一个纯净、稳定的环境，防止杂质污染，是半导体制造过程中不可或缺的重要材料。