星弧涂层所提供的磁控溅射溅射阴**有平衡或非平衡的磁场设计,靶材的离化率和利用率优异,多跑道的设计可用于大批量工业生产,同时使得设备运营成本降低20%以上。 磁控溅射阴极是标准系列产品,星弧也可根据客户的具体需求而客制化设计和制造。
技术特点:
● 阴极采用紧凑的矩形平面设计,磁场可沿单轴或双轴运动
● 在单个圆柱形靶材上*多有三条等离子轨道
● 高达50%的靶材利用率
● 配备星弧电源:DC,RF和中频AC
● 法兰连接使得安装和维修更便捷
典型应用:
● 切削工具,模具具的硬质涂层
● 玻璃,磁盘连续涂层