工作电压

DC2400V

**功率（主机与机械泵）

500W

可选靶材

金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属

真空泵

两级直联旋片式真空泵 1L/s

真空腔

φ128×130mm

样品杯

φ90×1 / φ25×4 / φ15×6

整机尺寸（长×宽×高）

424×271×255（mm）

重量（主机）

11 kg

工作环境

温度 5～40℃，湿度<60%

存储环境

温度-10~60℃，湿度<80%

工作气体

Air / Ar

保护功能

过流、真空双保护