技术参数：

    1、真空度：极限真空度5*10-3Pa （不通氩气）；

    2、*高压：（1）100~10000V；

    3、样品台可旋转；

    4、具有自保护功能；

    5、双离子枪可独立控制；

    6、样品冷却：半导体冷却（ 选配件）。